工業廢氣治理常見的方法有生物分解法、活性碳吸附法、等離子法、植物噴灑液法和和UV光解凈化法。其中低溫等離子體廢氣凈化技術無論在投資成本，運行費用，無二次污染，凈化效率等方面經實際工程驗證，具有常規技術無法比擬的優勢。
1.1 微生物分解法
生物分解法是利用循環水流將惡臭氣體中污染物質容于水中，再由水中培養床培養出微生物，將水中的污染物質降解為低害物質，效率可達70%，但受微生物活性影響，培養出來的微生物只能處理一種或幾種相近性質的氣體，為提高處理效率和穩定運行，需要頻繁添加藥劑、控制PH值、溫度等，這樣運行費用相對比較高，投入人工也比較多，而且生物一旦死亡將需要較長時間重新培養。
1.2 活性碳吸附法
活性碳吸附法是利用活性炭內部空隙結構發達，有巨大比表面積原理來吸附通過活性炭池的惡臭氣體分子，初期處理效率可達65%，但極易飽和，通常數日即失效，需要經常更換，并需要尋找廢棄活性碳的處理辦法，運行維護成本很高，適用于低濃度、大風量氣體，對醇類、脂肪類效果較明顯，但濕度大的廢氣效果不明顯，且容易造成環境二次污染。
1.3 等離子法
等離子法是利用高壓電極發射離子及電子，破壞惡臭分子結構的原理，轟擊廢氣中惡臭分子，從而裂解惡臭分子，對低濃度的惡臭氣體凈化效果明顯，在正常運行情況下可達到80%以上，能處理多種臭氣充分組成的混合氣體，不受濕度的影響，且無二次污染
1.4 植物噴灑液法
植物噴灑液法是通過向產生惡臭氣體的空間噴灑植物提取液將惡臭氣體進行中和、吸收，達到脫臭的目的，效果低濃度可達到50%，不同的臭氣選擇不同的噴灑液，需經常添加植物噴灑液，且需維護設備，運行維護費用高，易造成二次污染。